华远设备产品
自动EVA/背板裁切敷设机
1)用于太阳电池组件EVA、TPT、TPE、PYE、POE等封装材料裁切、冲孔、切口
2)适应开三分体、二分体EVA半片双玻组件,普通常规组件
3)具有热熔机构,可热熔连接具备自动抛接头功能,换料不用重新穿EVA,功能可切换
磁控溅射镀膜设备(PVD)
整套卧式在线晶圆连续镀膜设备,可同时在晶圆上实现双面镀膜,并附带载板返回系统,在进片侧实现基片的上、下料。
- 一站式双面镀膜,扩展性好,快速均匀的加热系统设计
- 通过阴极结构和腔体设计高效配合保证大尺寸载板下镀膜均匀性及重复性
- 单台产能≥500MW
卷绕式真空镀膜设备(RPVD)
1)各功能性膜层可以在一台高度集成的多腔室设备中,在不破真空的条件下,一步工序完成生长(All-in-one)
2) 各膜层的生长都是溅射工艺完成
3) 工艺制程的精确控制,获得高产能、高良率和低成本的生产技术