设备功能特点:
1)独特的不破真空连续镀膜设计,一站式镀膜,40分钟完成原材料投入到芯片产出;
2)基于50微米不锈钢衬底制作,具有坚固、超薄、超轻、超柔、可随意裁切等特点;
3)巧妙的阴极结构和腔体设计,高镀膜均匀性和工艺稳定性;
4)精准的自动张力控制系统,具有张力、速度稳定,运作快速的特点。
应用场景:
1)铜铟镓硒(CIGS)柔性不锈钢基底光伏镀膜
2)柔性面板镀膜
3)其它柔性基底镀膜
竞品优势分析:
1)各功能性膜层可以在一台高度集成的多腔室设备中,在不破真空的条件下,一步工序完成生长
2)工艺制程的精确控制,获得高产能、高良率和低成本的生产技术
3)目前尚无同类竞争产品
序号 |
项目 | 技术参数 |
1 |
产能 | 37.5MW |
2 |
沉积速度 |
24英寸/分钟 |
3 |
设备运行比率 |
≥85% |
4 |
靶材利用率 |
≥80% |
5 |
衬底 |
不锈钢(50微米厚,1米宽) |
6 | 良率 |
≥95% |